ОСНОВНОЙ ДИЗАЙН

Эта горизонтально расположенная вакуумная печь для спекания танталовых анодов состоит из узла загрузки (1), камеры удаления связки (2), камеры спекания (3), камеры охлаждения (4) и узла выгрузки (5). В камере спекания для поддержания высокой температуры используются графитовые резистивные нагреватели. В камере удаления связки снаружи установлены три нагревательных элемента Kanthal. Все камеры, а также узлы загрузки и разгрузки устанавливаются в фиксированном месте на общем основании (7).

ОПИСАНИЕ ПРОЦЕССА


В узле загрузки пневматический манипулятор автоматически загружает набор из шести керамических лотков в камеру удаления связки. При этом шесть других лотков перемещаются в камеру спекания так как система подачи лотков разработана на основе толкателя. После удаления связки при температуре 200 ° C ~ MAX450 ° C набор из шести лотков перемещается в камеру для спекания. Где температура обработки составляет около 1250 °C ~ MAX 1550 °C. Камера спекания откачивается турбомолекулярными насосами в диапазоне 10-4 ~ 10 -5 торр.
После завершения процесса спекания лоток перемещается в охлаждающую камеру в высоком вакууме и охлаждается до уровня ниже 70 °С. Вводится газообразный аргон или азот, который быстро охлаждается. Затем каждый лоток автоматически выгружается из охлаждающей камеры по одному

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Необработанные термически аноды конденсаторов (Ta или Nb) помещают в керамический контейнер.

Внутренние размеры контейнера:Ш 91 мм х Д 136 мм х В 20 мм <объем 247 см3>.
Количество контейнероводновременно можно разместить 18 контейнеров, по 6 контейнеров в каждую камеру.
Время основного процессаудаление связки до 90 мин./ спекание до 90мин./ охлаждение до 90 мин. (это время может быть изменено в зависимости от характеристик обрабатываемого материала).
Производительность (для справки)14 партий/день (примерно 22 часа) -> 14 x 18000 шт.
= 252000 шт./день.
Камера удаления связки.
Нагреватель Kanthal225 мм диаметр х 1000 мм Д
Мощность нагревателя12 кВт
Температура удаления связки:200 0С – 700 0С
Макс. температура700 0С
Давление при удалении связки (для справки)8 х 10-5 торр
Камера спекания.
Графитовый нагреватель163 мм диаметр х 310 мм Д, 3 шт.
Температура вакуумного спекания1250 0С ~ макс. 1550 0С
Давление при спекании5 х 10-5 торр
Электропитание
Напряжение питания200 В, трехфазное
Общая потребность в энергии65 кВ х А
Потребность в воде
Расходоколо 40 л/мин
Давление2.5 – 3.5 бар
Макс. температура на входе25 0С
Сжатый воздух
Количествооколо 10 л/мин
Давление6 – 7 бар
Габариты и масса
Длинаоколо 6800 мм
Ширинаоколо 1200 мм
Высотаоколо 1500 мм
Массаоколо 1500 кг