最上位モデル卓上型走査電子顕微鏡
| 性能 | ||
| 5nm 分解能 | 150,000x 最大倍率 | SE/BSE 多彩な機能 |
汎用電子顕微鏡のモジュールを小型化し、最大15万倍まで画像が観察できる高性能仕様の廉価版SEM。
可変アパーチャを装備することで微細粒子の構造分析に5nmの高分解能で品質高い画像が簡単に得られます
SE（二次電子像）
▷試料の凹凸の様子を観察できる。主に表面検査に使用
BSE（反射電子像）
▷ 組成情報を観察できる。
| 便利な機能 | ||
| 5軸 モーター 駆動 （X,Y,Z,R,T全自動） | オート 設定 フォーカス、 コントラスト、 明るさ | ステージ ナビゲーション システム Top View CCD Camera |
5つの移動軸を持ち、自由にステージ移動できる唯一の卓上SEM。
電動ステージの特徴の一つである「クリック＆ムーブ」
機能で簡単で便利な画像取得が可能。
傾斜-45°から90°まで、さまざまな角度からの画像取得可能。
EDSで簡単に分析
| 仕様 | |
| 電子システム | |
| 分解能 | Plus A: 5nm (30kV, SE Image) Plus B: 5nm(SE), 8nm(BSE) |
| 写真倍率 | 20x~150,000x |
| 加速電圧 | 1~30kV (1/5/10/15/20/30) |
| 検出器 | Plus A: SE(二次電子像) Plus B: SE/BSE(反射電子像) *いずれも装備 |
| 電子銃 | アライメント調整済みタングステンフィラメントカートリッジ |
| 資料微動装置 | |
| 移動範囲 | X:40mm、Y:40mm、R:360˚、Z:0～40mm、 T: -45˚～90˚ 5軸モーター駆動 |
| 資料サイズ | 最大Φ80mm、最高35mm (H) |
| 画像システム | |
| 自動機能 | オートスタート、オートフォーカス、オートコントラスト |
| ファイル形式 | BMP, JPEG, PNG, TIFF |
| 真空システム | |
| 真空モード | Plus A : 高真空 Plus B : 高真空＆低真空 |
| 真空ポンプ | ロータリーポンプ/ターボ分子ポンプ（全自動） |
| 寸法、質量 | |
| 本体 | 390(W)x380(D)x560(H)mm, 88kg |
| 制御装置 | 390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg |
| ロータリーポンプ | 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg |
EDS元素分析装置
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金と白金コーティング装置
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適用分野
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